P60.X250 系列压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P60.X250 系列压电纳米定位台
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产品特点


 铰链闭环

 高低温版本

 抗振动设计

 差分驱动

 快速响应

 两通道控制(含 1 路恒压)

 真空版本可选



阶跃时间

闭环定位精度

谐振频率与负载曲线

位移与电压曲线

线性度曲线

    技术参数

型号

P60.X250S

P60.X250K

单位

运动自由度

X

X

驱动控制

2 路驱动

2 路驱动

标称行程范围(0~120V)

±130

±130

μm±10%

行程范围(0~150V)

±165

±165

μm±10%

传感器

SGS

-

分辨率

9

3

nm

线性度

0.1

-

%F.S.

重复定位精度

0.04

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

<10

μrad

推/拉力

300/30

300/30

N

运动方向刚度

1.2

1.2

N/μm±20%

空载谐频

490

490

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

80

40

ms±20%

最大承载

0.6

0.6

kg

静电容量

24.6

24.6

μF±20%

工作温度

-40~+80

-40~+80

抗振设计

半正弦

15g, 11ms

15g, 11ms

后峰锯齿波

20g, 11ms

20g, 11ms

材质

钢、铝

钢、铝

重量

950

950

g±5%

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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