P60.Z250 一维 Z 向压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P60.Z250 一维 Z 向压电纳米定位台
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产品特点


 Z向位移250μm

 可选闭环传感器

 承载1kg

 静电容量21.6μF

 真空版本可选



    技术参数

型号

P60.Z250S

P60.Z250K

单位

运动方向

Z

Z

标称行程范围(0 ~120 V)

200

200

µm±10%

行程范围(0~150V)

250

250

µm±10%

传感器类型

SGS

-

分辨率

7

2

nm

闭环线性度

0.4

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

空载谐振频率

260

260

Hz±20%

加载100g负载谐振频率

1

1

Hz±20%

静电容量

21.6

21.6

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

重量

0.4

0.4

kg±20%

真空度

1×10^(-5)

1×10^(-5)

mbar

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使用说明书/Manual

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应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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