P66.X30S/K-C1 压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P66.X30S/K-C1 压电纳米定位台
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产品特点


 一维 X 向运动

 行程达 38μm 

  承载力达 100g 

 可选闭环版本、真空版本 


典型应用


 纳米级精密位置调整

 扫描显微

  微操作 

 纳米定位 / 测量 

 微加工




    技术参数

型号

P66.X30S-C1

P66.X30K-C1

单位

运动方向

X

X

标称行程范围(0 ~120 V)

30

30

µm±10%

行程范围(0~150V)

38

38

µm±10%

传感器类型

SGS

-

分辨率

1

0.5

nm

闭环线性度

0.1

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

推 / 拉力

200/10

200/10

N

运动方向刚度

10

10

N/μm

空载谐振频率

2000

2000

Hz±20%

闭 / 开环空载阶跃时间

5

1.5

ms±20%

承载能力

100

100

g

静电容量 

3.6

3.6

μF±10%

台体材料

电缆长度

1.5

1.5

m±10mm

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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