型号

P66.X30S-C1

P66.X30K-C1

单位

运动方向

X

X

标称行程范围（0 ~120 V）

30

30

µm±10%

行程范围（0~150V）

38

38

µm±10%

传感器类型

SGS

-

分辨率

1

0.5

nm

闭环线性度

0.1

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

推 / 拉力

200/10

200/10

N

运动方向刚度

10

10

N/μm

空载谐振频率

2000

2000

Hz±20%

闭 / 开环空载阶跃时间

5

1.5

ms±20%

承载能力

100

100

g

静电容量 

3.6

3.6

μF±10%

台体材料

铝

铝

电缆长度

1.5

1.5

m±10mm