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产品特点


 一维 X 向运动

 行程达 200μm

 承载力达0.5kg

 分辨率10nm

    技术参数

编号

P11.X200S

P11.X200K
P11.Z200S
P11.Z200K

单位

运动自由度

X

X
Z
Z

 

标称行程范(0~120V)

160

160 160
160

μm±20%

行程范围(0~150V)

200

200
200
200

μm±20%

传感器类型

SGS

- SGS
-

 

分辨率

10

2 5.5
2

nm

闭环线性度

0.1

- 0.15
-

%F.S.

重复定位精度

-

-
0.06
-

%F.S.

俯仰 / 偏航 / 滚动

-

-
<10
<10

μrad

推 / 拉力

-

-
<10
<10

N

真空环境

10^-4

10^-4
-
-

Pa

运动方向刚度

-

-
0.45
0.45

N/μm±20%

空载谐振频率

-

-
0.18
0.18

kHz±20%

闭 / 开环空载阶跃时间

-

-
10
0.8

ms±20%

闭环工作频率(-3dB)

-

-
-
-

Hz±20%

承载能力

0.5

0.5
0.5
0.5

kg

静电容量

-

-
3.6
3.6

μF±20%

材质

-

-
钢、铝
钢、铝


重量

-

-
170
170

g±5%

位移与电压曲线

-

-


谐振频率与负载曲线

-

-


线性度曲线

-

-


    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF

P11.X200

P11.Z200

Step

参数表/Specs Sheet

使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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