P11.Z一维Z向压电纳米定位台 100μm-300μm当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P11.Z一维Z向压电纳米定位台 100μm-300μm
  • 产品介绍
  • 应用
  • 价格及周期
  • 意见反馈

P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台,P11.Z为一维压电纳米定位台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有高导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电定位台体积小、结构紧凑 易于集成。


产品特点


 一维Z轴运动

 行程100μm,可选择200μm、300μm

 体积小巧

 毫秒级响应时间

 纳米级定位精度

 真空版本可选

 

 


产品运动示意图

传感器类型

放大机构式驱动示意图

大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快

P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源,可以实现1~3维100μm的精密运动。
      该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本, 闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制。

原子力探针扫描显微镜

P11.Z100S谐振频率与负载曲线

P11.Z100S线性度曲线

P11.Z100S位移与电压曲线


产品应用


 光纤定位/光学扫描

 纳米压印

 纳米计量

 微操控

 纳米定位

 干涉法/ 扫描显微/纳米定位

 生物技术/半导体技术

 质量保证测试

 微加工/精密控制





P11全系列产品


P11.X一维压电纳米定位台

P11.Z一维压电纳米定位台

P11.XY二维压电纳米定位台

P11.XZ二维压电纳米定位台

P11.XYZ三维压电纳米定位台

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P11.Z100S

P11.Z100K

P11.Z300S

P11.Z300K

单位

运动自由度

Z

Z

 

标称行程范围(0~120V

80

240

μm±10%

行程范围(0~150V

100

300

μm±10%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

 

/开环分辨率

3/1

8/2.5

nm

闭环线性度

0.05/-

0.5/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.02/-

0.12/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

<10

μrad

/拉力

30/10

50/4

N

运动方向刚度

0.3

0.25

N/μm±20%

空载谐振频率

0.7

0.12

kHz±20%

/开环空载阶跃时间

10/0.8

10/0.8

ms±20%

闭环工作频率(-3dB)

50(负载100g)

-

Hz±20%

承载能力

0.8

0.4

kg

静电容量

1.8

5.4

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

 

重量

100

230

g±5%

位移与电压曲线


谐振频率与负载曲线


线性度曲线


*若此工作频率已接近或超过谐振频率,建议在小于谐振频率以下使用,若在此频率下工作,输入电压要足够小,请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。 

** 可定制低温版本及高真空版本。 

***连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step

P11.Z100

P11.Z300

参数表/Specs Sheet

P11.Z100

P11.Z300

使用说明书/Manual

     三维图演示
     三维图演示

应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
  • 顾客单位名称:
  • 顾客单位所在城市:
         
  • 您的联系方式:
  • 联系人:
  • 手机:
  • 电话:
  • 邮箱:
  • QQ:
  • (为方便我们对您的意见进行跟踪反馈,请务必填写真实有效的联系方式)
  • 反馈产品类型:
  • 型号:
  • 反馈问题:
    性能问题 外观问题 配件问题 软件问题
  • 留言内容:
  • 验证码: 看不清?


微信公众平台

扫一扫, 获取芯明天更多信息

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层

电话:0451-86268790

压电 · 纳米 · 定位