XP-63X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μm XP-630.XS XP-630.XK XP-631.XS XP-631.XK XP-633.XS XP当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>XP-63X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μm XP-630.XS XP-630.XK XP-631.XS XP-631.XK XP-633.XS XP
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XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨 率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。



产品特点


 位移60μm

 亚毫秒响应时间

 承载5kg

 重复定位精度可达0.05%F.S.

 1~3维自由组合

 真空版本可选

 

 


外观形状

1~3维平移台

XP-63X系列压电纳米定位台可通过转接板连接, 组成XY,XZ,XYZ多种运动结构。
      多种规格型号可选。
      柔性铰链采用精密线切割技术。

直驱机构式驱动示意图

小体积、高精度、响应速度快

XP-63X系列压电纳米定位台结构设计,具有大机械刚度、大承载、高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有高的使用频率,响应时间可 以实现亚毫秒级。例如,XP-630带载20g负载,响应时间仅为5ms。
      XP-63X系列产品体积小巧,XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm,易于与其他平台设备集成。
      

传感器类型

应用实例

采用XP-633压电纳米定位台带载探针作精密位移定位检测控制,从而完成1mN的精确力控制实验。

XP-633位移与电压曲线

XP-633谐振频率与负载曲线

XP-633线性度曲线


产品应用


 半导体技术

 纳米压印

 纳米计量

 微操控

 纳米光刻

 干涉法/ 扫描显微/纳米定位

 生物技术

 质量保证测试

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

XP-630.XS

XP-630.XK

XP-631.XS

XP-631.XK

XP-633.XS

XP-633.XK

单位

运动自由度

X

X

X

 

标称行程范围(0~120V

12

24

48

μm±10%

行程范围(0~150V

15

30

60

μm±10%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

/开环分辨率

0.5/0.1

1/0.2

2/0.3

nm

闭环线性度

0.1/-

0.15/-

0.15/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05/-

0.05/-

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<20

<25

<30

μrad

/拉力

480/80

480/80

480/80

N

运动方向刚度

40

20

10

N/μm±20%

空载谐振频率

3.2

2.4

1.5

kHz±20%

/开环空载阶跃时间

1.5/0.8

3/1.6

5/3.2

ms±20%

承载能力

5

5

5

kg

静电容量

1.8

3.6

7.2

μF±20%

材质

 

重量

150

250

450

g±5%

位移与电压曲线

XP-630位移与电压曲线

XP-631位移与电压曲线

XP-633位移与电压曲线


线性度曲线

XP-630线性度曲线

XP-631线性度曲线

XP-633线性度曲线


谐振频率与负载曲线

/

/

XP-633频率负载曲线


     注:以上参数是采用E00/E01 系列压电控制器测得。Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    **可定制低温版本及高真空版本。

    ***连接器可定制。

    注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20um,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF

XP-630

Step

XP-630

XP-631

XP-633

参数表/Specs Sheet

XP-630

XP-631

XP-633

使用说明书/Manual


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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压电 · 纳米 · 定位