P66.X30S P66.X30K 一维X向压电纳米定位台 30μm当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P66.X30S P66.X30K 一维X向压电纳米定位台 30μm
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P66.X直驱压电平移台,是一维X轴运动压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。


产品特点


 位移30μm/轴

 电阻与电容传感器可选

 多维运动无耦合

 承载5kg

 真空版本可选




产品运动示意图

产品运动示意图

直驱机构式驱动示意图

开环与闭环版本可选

P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本,闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。

传感器使用全桥配置以消除热漂移,使得该系列纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复度。

传感器类型

应用实例:原子力探针扫描显微镜

芯明天P66.XY压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线


产品应用


 光纤端面检测

 光纤对接

 硬盘测试

 电化学加工

 3D锡膏检测

 干涉法/ 显微/纳米定位

 生物技术/半导体技

 质量保证测试

 微加工/精密控制




    技术参数

型号

尾缀S-闭环

P66.X30S

P66.X30K

单位

尾缀K-开环

 运动自由度

X

X

 

 运动和定位

 传感器类型

SGS

-

 

 行程范围

0~120 V

24

24

µm±10%

0~150 V

30

30

µm±10%

 分辨率

1

0.5

nmtyp.

 闭环线性度

0.1

-

%F.S.

 重复定位精度

0.05

-

%F.S.

 倾斜/偏航/滚动

<15

<15

µrad

 运动方向刚度

4.4

4.4

N/µm±20%

 空载谐振频率

5

5

kHz±20%

 闭环工作频率(-3dB)

250(空载)

250(空载)

Hz±20%

  / 开环空载阶跃时间

5

0.8

ms±20%

 运动方向推/拉力

120/15

120/15

N

 承载能力

8

8

kg

 驱动性能

 静电容量

3.6

3.6

μF±20%

 材质

 

 重量

120

120

g±5%

**与驱动控制器的电流有关。 

***可定制低温版本及高真空版本。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

运动台面平行度约20µm,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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