P63.Z7S P63.Z7K一维Z向压电纳米定位台 6.8μm当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P63.Z7S P63.Z7K一维Z向压电纳米定位台 6.8μm
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P63.Z直驱压电平移台,是一维Z轴运动压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。


产品特点


 1~3维自由组合

 位移行程6.8μm

 亚毫秒响应时间

 承载0.8kg

 重复定位精度可达纳米级

 真空版本可选

 

 


产品运动示意图

直驱机构式驱动示意图

传感器类型

快速响应、可选闭环传感

P63 系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统,是为 AFM、SPM、STM 等显微扫描纳米操作等应用而设计的,具有超低惯性,响应时间可达 0.3ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

应用实例:纳米切削

P63系列三维压电纳米定位台已广泛应用于基于SEM在线纳米切削平台的切削力测试实验中。

谐振频率与负载曲线

位移与电压曲线

线性度曲线


产品应用


 光纤端面检测

 纳米压印

 纳米计量

 微操控

 纳米光刻

 干涉法/ 扫描显微/纳米定位

 生物技术/半导体技术

 质量保证测试


P63系列产品


P63系列压电纳米定位台,包括X、Z、XY、XZ、XYZ多种运动方式可选。小体积易于集成配套。

P63.X一维X向运动

 P63.Z一维Z向运动

P63.XY二维XY向运动

P63.XZ二维XZ向运动

P63.XYZ三维XYZ向运动

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P63.Z7S

P63.Z7K

单位

运动自由度

Z

Z

 

标称行程范围(0~120V

5.5

5.5

μm±10%

行程范围(0~150V

6.8

6.8

μm±10%

传感器类型

SGS

-

 

/开环分辨率

0.3

0.1

nm

闭环线性度

0.4

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<5

<5

μrad

/拉力

12/2

12/2

N

运动方向刚度

2

2

N/μm±20%

空载谐振频率

2.5

2.5

kHz±20%

/开环空载阶跃时间

1.5

0.3

ms±20%

闭环空载

工作频率

10%行程

1000

1000

Hz±20%

100%行程

200

200

承载能力

0.8

0.8

kg

静电容量

0.8

0.8

μF±20%

材质

 

重量

70

70

g±5%

*若此工作频率已接近或超过谐振频率,建议在小于谐振频率以下使用,若在此频率下工作,输入电压要足够小,请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。 

** 可定制低温版本及高真空版本。 

***连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

     三维图演示

应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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