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P66.X60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统,可达毫秒级响应、纳米级定位精度,并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用,如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。


产品特点


 位移60μm

 承载能力6kg

 亚毫秒响应时间

 开闭环可选

 真空版本可选





开闭环版本可选

    P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本,闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。

应用实例:原子力探针扫描显微镜

芯明天压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。

应用实例:原子力探针扫描显微镜

位移与电压曲线

线性度曲线


产品应用


 光纤端面检测

 光纤对接

 硬盘测试

 电化学加工

 3D锡膏检测

 干涉法/ 显微/纳米定位

 生物技术/半导体技术

 质量保证测试

 微加工/精密控制




    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P66.X60S

P66.X60K

单位

运动自由度

X

 

标称行程范围0~120V)

48

μm±10%

 行程范围上限(0~150V)

60

μm±10%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环分辨率

2/0.5

nm

闭环线性度

0.1/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<20

μrad

推/拉力

160/16

N

运动方向刚度

2.8

N/μm±20%

空载谐振频率

1.3

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10/1.6

ms±20%

闭环工作频率(-3dB)

740(空载)


Hz±20%

承载能力

6

kg

静电容量

7.2

μF±20%

材质

 

重量

190

g±5%

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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