P66.Z30S P66.Z30K 压电纳米定位台 当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P66.Z30S P66.Z30K 压电纳米定位台
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P66.Z直驱压电平移台,是一维Z轴运动压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。


产品特点


 位移30μm/轴

 电阻与电容传感器可选

 亚毫秒响应时间

 承载1kg

 真空版本可选





外观形状

直驱机构式驱动示意图

开环与闭环版本可选

     P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本,闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。

应用实例:原子力探针扫描显微镜

    芯明天压电纳米定位台以其高响应频率、高精度、高可靠性等优势广泛应用于原子力探针扫描显微镜中。

应用实例:原子力探针扫描显微镜

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线


产品应用


 光纤端面检测

 光纤对接

 硬盘测试

 电化学加工

 3D锡膏检测

 干涉法/ 显微/纳米定位

 生物技术/半导体技

 质量保证测试

 微加工/精密控制

 



    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P66.Z30S

P66.Z30K

单位

运动自由度

Z

Z

 

标称行程范围(0~120V)

24

24

μm±10%

行程范围(0~150V)

30

30

μm±10%

传感器类型

SGS

-

 

闭/开环分辨率

1

0.5

nm

闭环线性度

0.1

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<15

<15

μrad

推/拉力

30/10

30/10

N

运动方向刚度

1.1

1.1

N/μm±20%

空载谐振频率

1.4

1.4

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

15

1

ms±20%

闭环工作频率(-3dB)

-

-

Hz±20%

承载能力

1

1

kg

静电容量

3.6

3.6

μF±20%

材质

 

重量

200

200

g±5%

    **与驱动控制器的电流有关。 

    ***可定制低温版本及高真空版本。 

    ****连接器可定制。 

    注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

   运动台面平行度约20µm,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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