P70.Z 压电纳米定位台 Z向当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P70.Z 压电纳米定位台 Z向
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P70系列压电扫描台具有两个版本,分别为二维 XY向运动、一维 Z 向运动。两个版本在四个角的位置都具有四个通孔,孔心距为 30mm,非常适于笼式结构的安装。XY运动版本额外具有四个沉孔,也适于螺纹安装固定。

P70 系列 Z 向运动版本,只需一通道控制。


产品特点


 运动自由度Z

 行程范围8μm

 静电容量1.6μF

 承载能力200g

 真空版本可选




产品运动方向

位移与电压曲线

线性度曲线

应用于笼式结构

应用于笼式结构

    技术参数

型号

P70.Z8S (直驱机构)

P70.Z8K(直驱机构)

单位

运动自由度

Z

Z

 

 驱动控制

1 路驱动

1 路驱动

标称行程范围

6.4 (@120V)

6.4 (@120V)

μm±10%

行程范围

8(@150V)

8(@150V)

μm±10%

传感器类型

SGS

-

 

闭环分辨率 

0.3

0.1

nm

闭环线性度

0.25

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.16

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

<10

μrad

承载能力 

200

200 

g

闭环响应时间 

30

20

ms±20%

空载谐振频率

3.6

3.6

kHz±20%

加载谐振频率 

1.5(200g)

1.5(200g)

ms±20%

静电容量

1.6

1.6

μF±20%

重量

128.5

128.5

g±5%

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


笼式结构

低温真空

纳米压印

超分辨率显微成像

红外超分辨率成像

激光直写

提高CCD分辨率

干涉测量

显微镜探针校准

纳米光刻


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