P60.Z500一维Z向500μm压电平台当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P60.Z500一维Z向500μm压电平台
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P60.Z500直驱压电平移台,是一维Z向运动压电定位台,采用压电陶瓷放大机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。


产品特点


 Z向位移500μm

 可选闭环传感器

 承载2kg

 静电容量28.8μF

 真空版本可选




位移与电压曲线

线性度曲线

    技术参数

型号

P60.Z500S

P60.Z500K

单位

运动方向

Z

Z

标称行程范围(0 ~120 V)

400

400

µm±10%

行程范围(0~150V)

500

500

µm±10%

传感器类型

SGS

-

分辨率

13.5

4

nm

闭环线性度

0.1

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

空载谐振频率

290

290

Hz±20%

加载100g负载谐振频率

2

2

Hz±20%

静电容量

28.8

28.8

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

重量

0.65

0.65

kg±20%

真空度

-

-

mbar

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
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参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

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应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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