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产品特点


 运动自由度Z

 静电容量15μF

 承载能力1kg

 空载谐振频率200Hz

    技术参数

参数

参数值

单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围

(0 ~+120 V)

640

μm±20%

 行程范围

(0~+150 V)

800

μm±20%

传感器类型

SGS

 

闭/开环分辨率

24/6

nm

闭环线性度

0.2

%F.S.

重复定位精度

0.1

%F.S.

空载谐振频率

200

Hz±20%

承载能力

1

kg

静电容量

15

μF±20%

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看

    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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迈克尔逊干涉仪


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