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产品特点


 X轴行程 18μm/ 轴

 承载可达 0.5kg

 开 / 闭环可选

 真空版本可选

    技术参数

型号

S-闭环

K-开环

P63.X18S

P63.X18K

单位

运动自由度

X

X

 

标称行程范围(0 ~+120 V)

16

16

μm±10%

Max.行程范围(0~+150 V)

18

18

μm±10%

传感器类型

SGS

-

 

闭/开环分辨率

0.6

0.2

nm

闭环线性度

0.3

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

≤15

≤15

μrad

空载谐振频率

2

2

KHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

8/0.5

8/0.5

ms±20%

承载能力

0.5

0.5

kg

静电容量

1.8

1.8

μF±20%

工作温度范围

-20~80

-20~80

°C

材质

 

出线长

1.5

1.5

m±10mm

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看

    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual

     三维图演示

应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


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    企业 高校 研究所
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