E09.Cap 电容式非接触式测微仪,通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移,测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组成,可组成多测量通道数。
产品特点
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原理 它基于一个理想的平行板电容器原理,传感器与相对面被测目标形成的两个电极,采用保护环电容器原理,用于测量任何金属时,传感器仍是线性的。 ![]() |
模块组合 ![]() |
电容测头 ![]() |
典型应用
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振动,振幅,间隙,跳动 | 挠度,形变,纹波度,倾角 | 扭曲,形变,轴向振动 | 位移,距离,位置,伸长率 |
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尺寸,尺寸公差,筛选,部件识别 | 绝缘体厚度测量 | 在线检测,尺寸检测 | 双侧厚度检测 |
可选配测试支架
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磁力表座 | 大理石测试支架 |
技术参数 | ||
板卡式 |
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型号 |
E09.C1板卡 |
单位 |
量程范围 |
0~200 |
μm |
线性度 |
±0.1 |
μm |
静态分辨率 |
0.0025 |
μm |
动态分辨率(1kHz) |
0.1 |
μm |
传感器直径 |
10 |
mm |
目标直径 |
10 |
mm |
静态重复性 |
0.005 |
μm |
信号温度稳定性 |
<0.005 |
%FSO/℃ |
长期稳定性 |
<0.04 |
%FSO/月 |
带宽 |
2k |
Hz(-3dB) |
工作温度范围 |
+10~+50 |
℃ |
环境湿度 |
<85 |
% |
电压输出范围(模拟) |
0~+10 |
V |
供电电压 |
220VAC 50Hz±10% |
VDC/mA |
传感器线长 |
1.6 |
m |
板卡尺寸:长×宽×深 |
180×130×35 |
mm |
机箱式 |
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型号 |
E01.Cap |
单位 |
供电电压 |
220VAC 50Hz±10% |
±10% |
外型尺寸:长×宽×高 |
280 × 360 × 170 |
mm |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |