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产品特点


 压电式驱动

 小体积

 纳米级分辨率

 3.5 至 30mm 行程可选

 可选闭环版本、真空版本





小体积结构

可选真空版本

可选配闭环传感器

可选多维自由组合

    技术参数

型号

MN15-3.5mm

MN15-10mm

MN30-8mm

MN30-18mm

MN30-30mm

单位

15

22

30

40

52

mm

7

7

12.5

12.5

12.5

mm

15

15

30

30

30

mm

行程

3.5

10

8

18

30

mm

速度

1.5

1.5

1.2

1.2

1.2

mm/s

重量

6

20

32

38

54

g

承载能力

扭矩Mx

4

4.5

5

5

5

Ncm

扭矩My

4

1.5

5

5

5

Ncm

扭矩Mz

4

3.2

5

5

5

Ncm

出力Fx

3

3

4.5

4.5

4.5

N

承压力Fy、Fz

20

20

30

30

30

N

分辨率(计算值)

单个步进

~450

-

~450

~450

~450

nm

1/16步进

~30

-

~30

~30

~30

nm

1/64步进

~10

-

~10

~10

~10

nm

1/2步进

~250

-

~250

~250

~250

nm

双步进

~900

-

~900

~900

~900

nm

导向精度(空载)

偏航角

20

20

20

20

20

arc sec

俯仰/冲角

60

60

60

60

60

arc sec

垂直偏移

1

1

1

1

1

μm

横向偏移

2

2

2

2

2

μm

参数表






    推荐控制器

MN压电马达类型

推荐控制器

MN压电马达类型
推荐控制器

一维运动

开环

E53.C1K-J

二、三维运动
开环
E71.C3K-J

闭环

E53.D1E-J

闭环
E71.D3E-J
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
使用说明书/Manual


应用案例


低温真空


低温真空


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    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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