
在光学检测领域,精度就是生命线。随着光学领域的快速发展,大口径、大尺寸光学元件的应用需求持续爆发,其表面质量的检测要求也同步提升至纳米级。目前主流的高精度光学检测手段,核心部件移相器的通光孔径、精度与稳定性,对检测设备的性能起着关键的作用。
我们基于P77系列压电纳米定位台成熟的产品平台与市场验证,全新推出P77B.S285大通孔方形通孔压电纳米定位台/移相器,为光学检测行业提供更适配、更精准的移相解决方案。

一、P77B.S285产品亮点
P77B.S285采用285mm×285mm超大方形通孔设计,可轻松承载大口径圆形光学镜片,同时适配方形、矩形光学元件,结构更紧凑、刚性更优、适配性更强。

方形通孔的优势在于:
01
有效通光面积更大
方形通孔的设计可以容纳更大对角线尺寸的元件,并且对于光刻掩模版、大尺寸平面反射镜等非圆形光学元件,P77B.S285的方形通孔可做到全区域通光无遮挡,实现元件全表面的完整检测,大幅提升通光利用率与检测效率。
02
适配方形光学元件
在光学检测领域,方形镜片、方形棱镜等应用日益广泛,方形通孔能够更好地贴合实际需求,并且适配标准化工业场景,在半导体、平板显示等工业检测场景多为标准化的方形、矩形尺寸,P77B.S285可直接与标准化元件适配,无需额外转接工装,完美适配工业在线检测的高效化需求。
03
装调便捷,应力分布更均匀
方形通孔的周边安装位呈对称式分布,镜片的夹持固定更便捷,定位基准清晰,可有效避免偏心、旋转错位问题;同时,均匀的安装点位可让镜片的装夹应力更均匀地分散,尤其适合大口径超薄光学元件的检测。

P77B.S285最大行程可达20μm,为光学移相检测场景深度优化,完全覆盖相移干涉、白光扫描干涉等主流检测方案的行程需求。同时保证极致的性能表现:
(1)纳米级定位精度,完美适配超精密检测
配备高精度位移传感器和全闭环控制算法,位移分辨率可达纳米级别,满足高端光学元件的纳米级检测需求。
(2)无回差,重复定位性能优异
采用一体化加工的柔性铰链导向机构,无机械摩擦、无传动间隙,重复定位精度可达纳米级,可有效避免误差对相位测量的干扰,保证长期连续检测的结果一致性。
(3)快速响应与高稳定性,提升检测效率
响应时间达毫秒级,可在短时间内稳定达到目标位移,实现高速连续移相,大幅提升光学检测的采样效率,既适合实验室精密计量,也适配工业产线的在线高速检测。
P77B.S285延续了P77系列大负载的核心设计优势,额定承载能力可达10kg,完全满足大口径光学镜片、镜头组件、大尺寸参考镜的负载需求。产品采用高刚性一体化结构设计,轴向刚度优异,长期连续工作无精度衰减,使用寿命长,免维护,完美适配工业在线检测的长期连续运行需求。
同时,可根据客户的设备应用需求,对行程、承载、通孔尺寸、外形结构、真空适配等进行量身定制,全方位满足不同场景的个性化需求。

P77系列产品矩阵
技术参数
|
型号 |
P77B.S/K285 |
|
运动自由度 |
Z |
|
标称行程范围(0~120V) |
15μm |
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Max.行程范围(0~150V) |
20μm |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
285mm×285mm |
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分辨率 |
0.6nm/0.02nm |
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推/拉力 |
150N/15N |
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空载谐振频率 |
440Hz |
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带载谐振频率 |
180Hz@10kg |
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空载阶跃时间 |
40ms@10kg/20ms |
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承载能力 |
10kg |
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静电容量 |
7.2μF |
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材质 |
钢、铝 |
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重量(含线) |
9.3kg |
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工作温度范围 |
-20~65℃ |
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出线长 |
1.5m |
二、P77B.S285应用场景
P77B.S285为大尺寸光学元件的精密移相检测打造,核心应用聚焦于光学干涉移相场景,同时也可拓展至各类需要大口径通光、纳米级精密定位的场景。
核心应用:光学元件超精密移相干涉检测
涵盖大口径球面、非球面镜片及平面光学元件的面形、平行度、粗糙度检测,满足天文望远镜、车载大视场镜头、光刻物镜、工业激光镜头、平面反射镜、分光镜等高端系统的纳米级精度需求;同时适配半导体光刻掩模版检测、OLED光学膜层的厚度与均匀性分析等场景,支持标准化方形元件直接检测,提升在线效率;还可配合干涉仪实现大口径镜头组的精密装调与光轴对准,是光学制造与检测环节的关键装备。
拓展应用场景
显微成像:作为Z轴聚焦定位台,承载大尺寸样品进行纳米级调焦
精密对准:在光学系统装调中,承载光学元件进行亚微米级位置对准
半导体检测:承载晶圆或掩模版进行高精度定位扫描
超精密加工:作为刀具伺服或工件定位的纳米级位移平台
更多详情欢迎致电芯明天0451-86268790、17051647888(微信同号)!


