微纳尺度的精密探测、样品表征与微区操控，是半导体检测、新材料研发、生物医药实验、基础物理研究等前沿领域的核心基础环节。在各类微观实验与工业测试场景中，样品结构的多样性、测试点位的复杂性、观测角度的多元性，对探针的空间定位、角度调节、运动精度都提出了极高的综合性要求，需要设备同时兼顾多维度位移调节、超高分辨率运动与复杂环境适配能力。

针对当下微纳测试场景的多元化精密操控需求，芯明天全新推出F40.N4E四维压电马达探针台，以一体化四维运动架构，适配各类高精度、高难度微纳米尺度操作与测试工作。

F40.N4E四维压电马达探针台，由三维直线运动部分、旋转部分以及探针连接部分组成。设备支持探针在XYZ三个维度实现精密位置调节，同时旋转部分可带载探针做360°无死角双向旋转运动，四维协同作业，可以满足多种微观操作场景。

★四维一体化设计

这种“3+1”的四维运动架构，可以实现在微纳尺度下完成全流程精密操作，大幅提升实验效率与测量准确性。

·定位精度：重复定位精度达纳米级，确保测量数据的一致性与可靠性；

·直线分辨率：闭环控制下可达6nm，满足超精密测试需求；

·旋转分辨率：开环可达微弧度级，实现探针角度的精细调节，适配各种样品测试。

·力控制精准：可实现微接触力控制，避免损伤MEMS、生物细胞等脆弱样品；

·无电磁干扰：适合对电磁敏感的电子元器件、超导材料测试；

·结构紧凑：四维集成设计，节省实验空间，易于集成于SEM/TEM、光学显微镜等系统。可定制更小体积版本。

·真空兼容：真空版本设计，适配SEM等真空环境下的高精度操作；

·参数可定制：运动行程、精度、负载、探针夹具类型等均可按需定制。

凭借高精度、高稳定性与多维度运动能力，F40.N4E在新材料、新能源、半导体、生物医药、基础科研等前沿领域拥有广泛的应用前景。

在芯片制程不断微缩的背景下，F40.N4E可在纳米尺度上对晶圆上的芯片进行电学性能测试、微纳加工和失效分析，是检测与加工环节的核心设备。

通过F40.N4E与显微镜联用，科研人员能够对二维化合物（如石墨烯）进行表面形貌、力学性能与电学特性表征。

对电池材料、光伏材料进行微区电学性能分析，360°旋转探针可实现材料不同面的特性对比。

可通过F40.N4E操作微探针对单个细胞进行任意角度的精准操作；测试微纳生物传感器的灵敏度与响应特性，纳米级定位确保探针与传感器精准接触。

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