型号

S50.UR1S

S50.UR1K

单位

运动自由度

θx θz

θx θz

驱动控制

3 路驱动，2路传感

3 路驱动

标称行程范围（0~120V）

1/轴

1/轴

mrad±10%

Max.行程范围（0~150V）

1.3/轴

1.3/轴

mrad±10%

传感器

SGS

-

分辨率

0.03

0.03

μrad

线性度

0.2

-

%F.S.

重复定位精度

0.07

-

%F.S.

空载谐振频率

604/726

604/726

Hz±20%

加载20kg谐频

68/155

68/155

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

50

20

ms±20%

承载能力

20

20

kg

静电容量

36/44.3

36/44.3

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

重量

9.5

9.5

kg±5%