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S50.UR0K-A S50.UR0C-A 大负载压电偏摆台是专为大负载应用而设计，承载可达 5kg。它的闭环版本是采用电容式反馈传感器，空载谐振频率可达 1kHz。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
S50.UR0C-A |
S50.UR0K-A |
单位 |
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运动方向 |
θx、θz |
θx、θz |
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驱动控制 |
3路驱动，2路传感 |
3路驱动 |
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标称直线行程范围（0 ~120V） |
0.24/ 轴 |
0.24/ 轴 |
mrad±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
0.3/ 轴 |
0.3/ 轴 |
mrad±10% |
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传感器类型 |
CAP |
- |
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闭 / 开环分辨率 |
0.02 |
0.01 |
μrad |
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闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
1000 |
1000 |
Hz±20% |
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最大承载 |
10 |
10 |
kg |
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静电容量 |
14.4/轴 |
14.4/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
9.5 |
9.5 |
kg±5% |
应用案例
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晶圆表面检测 
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