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产品特点
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| 技术参数 | ||
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型号 |
N56.XYZTR20E |
单位 |
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运动自由度
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X，Y，Z，θx，θy，θz
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传感器类型
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SGS
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X、Y 轴标称行程范围
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±10
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mm |
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Z 轴标称行程范围
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±5
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mm |
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θx, θy 轴偏摆角度范围
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±10
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° |
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θz 轴旋转角度范围
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±15
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° |
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直线分辨率
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X7.7/Y7/Z6.2
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nm
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角度分辨率
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θxθy0.32/θz0.35
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μrad
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闭环线性度
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X0.023/Y0.022/Z0.011/θx0.93/θy1.1/θz0.55
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%F.S.
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闭环重复定位精度
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X0.019/Y0.012/Z0.01/θx0.06/θy0.04/θz0.035
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%F.S.
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承载能力
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0.5 |
kg |
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驱动方式
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压电马达
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重量 |
1 |
kg±5% |
