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芯明天超声压电马达位移台是利用超声谐振驱动原理，通过PZT压电陶瓷的逆压电效应，产生超声波频率的机械振动，再通过摩擦驱动的结构设计，使其产生直线运动。由于超声波的频率超出了人的听觉范围，所以超声压电马达位移台在运行过程中几乎无噪声。在结构设计上，超声压电马达的体积更为小巧，可达厘米级行程，纳米级精度，且响应速度快，可断电自锁。
N59.30K超声压电马达位移台可在X向产生±15mm位移，分辨率可达50nm，结构紧凑，非常适于集成。同时受外界的电磁干扰和噪声影响较小，运动速度快，步进小，均匀稳定，具有高性价比。可搭配芯明天E66.A2K-H 压电马达控制板卡配合使用，可外部输入PWM 信号控制。
产品特点
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 可选真空版、二维运动版本
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产品应用
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原子力显微镜
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半导体的精密定位和微纳操作等
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小负载、大行程纳米定位
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| 技术参数 | ||
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型号 |
N59.30K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
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标称行程范围 |
30或±15 |
mm |
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速度上限 |
25 |
mm/s±20% |
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分辨率 |
50 |
nm±20% |
| 负载能力 | 0.2 | kg |
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工作温度 |
0~50 |
℃ |
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材质 |
铝、不锈钢 |
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| 重量 |
15（不含线） |
g±10% |
| 电缆长度 | 1.5 | m±10mm |
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推荐控制器 |
E66.A2K-H |
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