新品推荐-H64B六轴压电纳米定位台：80kg大负载，Ø190mm大通孔
在空间扰动模拟、大型光学元件标定、大尺寸精密器件检测装配、微纳精密实验等前沿科研与高端精密工程场景中，往往需要对大尺寸、大重量实验工装与样品实现多维度、超高精度的静态定位与动态姿态微调。针对这类场景对定位设备的需求，芯明天全新自研H64B六轴压电纳米定位台，依托压电驱动技术与优化的机械结构，兼顾纳米级运动精度与大负载能力，为航空航天、半导体、光学工程等领域提供全新的精密运动解决方案。
一、H64B核心特点
H64B.XYZTR0S/K是六轴运动压电纳米定位台，可产生X、Y、Z、θx、θy、θz六轴的超精密运动，集高刚度、无摩擦、大负载、大通光孔径等多重特性于一体，可稳定完成高精度静态定位与动态调姿作业。
80kg超大承载能力
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H64B最显著的优势在于其80kg的超大承载能力，这一突破性设计使其能够轻松承载各类大型光学组件、重型实验装置、大尺寸晶圆以及各种重型测试设备，充分满足大负载工况下的六轴精密调姿与运动实验需求。
Ø190mm大中心通孔
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H64B具有Ø190mm大口径中心通孔结构，可适配透射式光路搭建、光学检测、上下贯通式实验布局，大幅提升了设备在光学检测、精密装配、测试系统中集成的灵活性和便利性。
高刚性与高动态性兼备
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· 并联机构设计：内部采用并联结构设计，无误差累积，运动精度更高，动态响应更快；
· 铰链结构优化：通过有限元分析技术对柔性铰链结构进行全面优化，使其在运动方向上拥有非常高的刚度；
· 无间隙无摩擦：柔性铰链导向机构无机械磨损，可实现纳米级直线运动和纳弧度级角度运动，使用寿命长，稳定性好。
技术参数
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型号 |
H64B.XYZTR0S/K |
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运动自由度 |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
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驱动控制 |
6路驱动，6路传感 |
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XYZ标称行程范围（0~120V） |
XY±50μm,Z45μm |
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Max. XYZ行程范围（0~150V） |
XY±63μm,Z57μm |
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θxθy标称偏摆角度（0~120V） |
±0.1mrad（≈±21秒） |
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θxθy Max.偏摆角度（0~150V） |
±0.13mrad（≈±27秒） |
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θz标称旋转角度（0~120V） |
±0.2mrad（≈±41秒） |
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θz Max.旋转角度（0~150V） |
±0.24mrad（≈±50秒） |
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传感器 |
SGS/- |
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直线分辨率 |
10nm/≤0.2nm |
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偏转分辨率 |
40nrad/≤0.5nrad（＜0.01秒） |
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重复定位精度 |
直线0.06%F.S.,角度≤0.14%F.S./- |
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空载谐振频率 |
XY185Hz,Z150Hz,θz245Hz |
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带载谐振频率 |
XYθz70Hz,Z110Hz@80kg |
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承载能力 |
80kg |
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静电容量 |
XY208μF,θz134μF |
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材质 |
钛合金、铝合金 |
二、H64B典型应用领域
H64B凭借其大负载、大通孔、高精度、高刚度的独特优势，可广泛用于多领域超精密科研与工业应用：
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航空航天与空间科学
· 空间扰动模拟实验：模拟卫星、航天器在太空中受到的微小振动和姿态扰动，测试和验证姿态控制系统的性能与可靠性；
· 光学载荷地面测试：对大型空间望远镜、激光通信终端等光学载荷进行精密装调和性能测试；
· 惯性传感器标定：可标定加速度计、陀螺仪等惯性传感器的性能参数。
02
半导体制造与检测
可用于半导体大尺寸晶圆的精密姿态调整，通过多维度纳米级精度的直线和偏转运动将晶圆快速、精确地调整到正确的位姿。
03
光学元件
· 大型光学元件对准：调整大尺寸透镜、反射镜、棱镜等光学元件的位置和姿态；
· 光学曲面测量：配合白光干涉仪等仪器，对复杂光学曲面进行高精度测量。
04
激光通信系统
用于调整和实时校正激光发射和接收装置的位姿，实现振动抑制、远距离激光通信的稳定。
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