多头物镜显微系统中压电式Z向纳米调焦解决方案

更新时间：2024-04-07 13:37:02点击次数：2223次

随着生物学、医学、材料科学、精密加工等领域中科技的不断进步，光学显微成像技术得到更为广泛的应用。为了得到更高的显微精度和扫描速度等要求，在很多显微成像系统中会配备压电纳米定位技术产品，对样本或物镜等进行精确、快速、稳定的移动，以获得更为精准的样本信息。

芯明天的压电物镜定位器是一种产生Z向纳米的压电式微动平台，它的步进分辨率可达2.5nm，适用于非常高精度的光学成像、聚焦。

而在某些应用的观察过程中，会采用多头物镜的显微系统，相较于单个物镜头的显微系统，多头物镜具有放大倍率多样、视野宽广、不同角度等多种优势，可提供更为全面的被观察样本的信息。但在使用多头物镜的过程中，由于体积、结构的限制，压电物镜定位器就不便于为每个物镜头提供纳米级的Z向调焦运动。

为了让多头物镜系统的每个物镜都可以实现Z向纳米级调焦运动，芯明天公司针对多头物镜系统的特点设计研发了大承载式、高精度压电纳米定位台 - XD780系列，它既满足因物镜数量及结构增加而造成的大承载要求，同时，在多个物镜间切换任意一个物镜，都能进行Z向纳米调焦运动。而且它体积小巧，易于集成，不会造成系统臃肿。

芯明天XD780系列压电纳米定位台在正立、卧式、倒置三个方向的承载能力都可达5kg，并且具有3个行程可选：50μm、150μm、200μm，分辨率可高达0.5nm。

XD780系列压电纳米定位台特点

50μm、150μm、200μm三种行程可选

正立/卧式/倒置承载均可达5kg

满足多头物镜间切换后的Z向纳米调焦运动

可配备闭环反馈传感器

XD780系列压电纳米定位台在多头物镜显微系统中的位置

XD780系列压电纳米定位台在多头物镜显微系统中的物镜切换盘的上方，它可带动整个物镜切换装置进行Z向纳米级调焦运动。

XD780系列压电纳米定位台带动多头物镜装置的运动效果

XD780系列压电纳米定位台基本技术参数

型号	XD780.50S/K
外观
行程范围（0~150V）	50μm
驱动形式	直驱式
分辨率	2nm/0.5nm
线性度	0.01%F.S./-
重复定位精度	0.02%F.S./-
承载能力（正立/卧式/倒置）	5kg
空载谐振频率	2200Hz
带载谐振频率@5kg	160Hz
阶跃时间	15ms@5kg/7.5ms

型号	XD780.150S/K
外观
行程范围（0~150V）	150μm
驱动形式	放大式
分辨率	5nm/1.5nm
线性度	0.03%F.S./-
重复定位精度	0.01%F.S./-
承载能力（正立/卧式/倒置）	5kg
空载谐振频率	760Hz
带载谐振频率@5kg	100Hz
阶跃时间	30ms/4ms

型号	XD780.200S/K
外观
行程范围（0~150V）	200μm
驱动形式	放大式
分辨率	7nm/2nm
线性度	0.05%F.S./-
重复定位精度	0.02%F.S./-
承载能力（正立/卧式/倒置）	5kg
空载谐振频率	250Hz
带载谐振频率 @5kg	60Hz