新品|P66.XY100大负载压电纳米定位台：110μm行程，40kg承载
在半导体晶圆检测、大口径光学元件检测、量子微纳光学实验等高端应用场景中，精密定位技术需要做到即使在超大负载情况下，仍能保持纳米级的定位精度。我们全新推出P66.XY100高分辨率压电纳米定位台，以110μm行程与40kg超大承载能力的突破性组合，为高端精密应用带来全新的可能性。
一、
P66.XY100压电纳米定位台参数亮点
01
110μm大行程
P66.XY100将单轴最大行程提升至110μm，适配更广范围的扫描、调焦、移相、光程调节等应用需求。采用直驱式结构设计，在110μm全行程范围内可稳定实现纳米级分辨率、纳米级定位精度以及毫秒级响应速度。
02
40kg超大承载
这是P66.XY100最核心的差异化竞争力，其正立或倒置的额定承载能力都跨越式提升至40kg。我们通过一体化柔性铰链结构优化、高推力压电叠堆匹配、高效刚度设计，让P66.XY100在40kg满负载下，依然能保持纳米级核心定位性能，为超精密定位场景带来了卓越的优势。
03
高重复定位精度
P66.XY100压电纳米定位台，在保证40kg重型承载能力前提下，同时实现了单轴0.006%的重复定位精度，并且带载稳定性高，充分保障扫描成像的保真度。
技术参数
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型号 |
P66.XY100S/K |
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运动自由度 |
X,Y |
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驱动控制 |
2路驱动，2路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
90μm/轴 |
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Max.行程范围（0~150V） |
110μm/轴 |
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传感器类型 |
SGS/- |
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分辨率 |
6nm/0.2nm |
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线性度 |
0.02%F.S./- |
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重复定位精度 |
0.01%F.S./- |
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俯仰/偏航/滚动 |
＜10μrad |
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空载谐振频率 |
X435Hz/Y370Hz |
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带载谐振频率 |
X56Hz/Y52Hz@40kg |
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闭/开环空载阶跃时间 |
80ms@40kg,10μm,1Hz/20ms |
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承载能力 |
40kg |
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工作温度范围 |
-20~80℃ |
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静电容量 |
45μF/轴 |
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材质 |
不锈钢 |
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重量 |
11.7kg |
二、
应用场景
高端扫描成像、量子微纳光学等
半导体晶圆扫描检测
适配晶圆的缺陷检测、膜厚测量、形貌表征等在线扫描场景，P66.XY100的纳米级定位精度保障缺陷的精准识别，助力半导体先进制程的品质管控。
大口径光学元件面形检测
在大口径干涉仪、物镜稳像器、光刻机投影等高端成像系统中，被扫描的样品或光学组件往往体积大、重量重。P66.XY100的110μm行程配合纳米级分辨率，能够在保持超高成像质量的同时，完成大范围、高精度的扫描定位。
重载显微成像
既可满足显微镜的样品微区扫描，也可兼容培养仓、真空样品仓、重型工装夹具等组件，实现高速层扫。纳米级精度保证层厚均匀，满负载下仍完整保留超分辨成像的纳米级细节。
表面检测与三维形貌重构
在超精密加工件的表面形貌检测中，可对重型工件进行高密度、高精度的逐点扫描，确保了检测数据的准确性和可重复性。
量子微纳光学
P66.XY100的纳米级定位精度、高结构刚度与重载特性，同样适配量子科技与微纳光学领域对精密光路调控、纳米级稳定定位的极致需求，是前沿科研与高端产业研发的核心支撑部件。
除此之外，P66.XY100还可广泛适配半导体先进封装、超精密微纳加工、精密计量校准、生物显微操作、MEMS器件微装配等众多超精密定位场景，为各领域的极限精度操控提供可靠支撑。
三、
推荐控制器
E70.D2S-L压电控制器
E70.D2S-L两通道压电控制器，可通过串口、USB或网口进行数字通信，非常适用于驱动P66.XY100S/K系列压电纳米定位台。E70.D2S-L控制器采用DC24V供电，带宽达10kHz，可通过模拟或数字信号进行控制，开/闭环可选。
更多详情欢迎致电芯明天0451-86268790、17051647888（微信同号）！
